第503章 时间就是金钱！特种气体之难 (第3/11页)

时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

    掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

    除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。

    林林总总加一起。

    要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。

    需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。

    真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。

    用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。

    而用于电子科技产品的呢？

    哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管，纯度都要百分之九十九点九九九。

    而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。

    特种气体的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提高芯片的良品率。

    可是纯度已经很高的气体，再想进一步的提纯，难度实在是太大了。

    就像一张满分是一百的试卷。

    从六十分及格，努力学习考到九十分并不难，因为提升空间很大。

    再努努力，从九十分提升到九十五分，也并非不可