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Z 軸之行程採用高精度直線軸承(Roller Pack) 合作特别設計之崁條做預壓，使兩平面間磨擦力下降且往復運動更為平穩；其合金鋼硬軌設計，平行度、平面度及笔直度均控制在0.004mm 以內。
快換氣動夾頭設計，其浮動夾持機構會自動調整拉桿接合誤差，極限夾持力高達8,000kgs。
分度主軸( 正主軸) 採用直驅馬達(Direct Drive) 傳動，能下降噪音、供给低速高扭力、快速定位及高定位精度。
輥輪修整器及Y 軸裝置採用精细線軌，合作精细滾珠螺桿，做單向直線伺服傳動。